Wave3000 

翘曲测量设备

Wave3000,一种开创性的无接触测量工具,它采用了先进的光学扫描技术,可以在三个不同的平台上精确测量晶圆的变形 (专利申请中)。凭借其先进的功能,Wave3000提供了对晶圆翘曲的全面而精确的分析,这对于保障半导体器件的质量至关重要。

产品描述

ERS Wave3000 内搭载的是高分辨率的光学扫描仪,在多点上捕捉晶圆的表面数据,使其能够生成精确的晶圆轮廓三维图。随后,系统配套的先进软件算法对收集到的数据进行分析,以准确计算出晶圆的翘曲轮廓,其中包括曲率或晶圆形态的变化。

Wave3000的与众不同之处在于其交互式的晶圆三维视图,它可以让用户更好地理解翘曲曲线。三维视图可以旋转和放大,允许用户从任何角度查看翘曲曲线,评估其对晶圆性能的影响。此外,Wave3000的软件可以生成报告和图表,帮助用户解释测量结果并做出明智的决定。

Wave3000用户友好的交互页面让操作更加便捷,并且可以快速、有效地进行设置和执行测量。该工具的无接触操作也减少了污染或损坏晶圆的风险,确保了测量结果的准确、安全和可靠。

WAVE3000

技术参数

Wafer Size
200 mm or 300/330 mm
Handling System
One 4-Axis Robot; special endeffector
Maximum Input Warpage
+/- 7mm
Warpage Adjust Method
ERS TriTemp Slide
Typical Output warpage
< 500µm
Temperature Control
DC PID and ERS AirCool® components
Temperature Range
-10°C up to +260°C (depending on station)
Oxygen Free Environment
Optional

规格尺寸

W x D x H
2273 x 1134 x 1741 mm
Weight
450kg

电源设施

Voltage
400 VAC 3-phase 32A
Frequency
50 / 60 Hz
Power
18 kW
CDA Pressure
6 bar at 0 °C dew point
CDA Flow Rate
1000 l/min peak
Vacuum Pressure
100 mbar
Vacuum Flow Rate
100 l/min

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