超低噪声卡盘

超低噪声温度卡盘系统可以保护卡盘免受电噪声的影响，并降低卡盘漏电。具备超低电噪声卡盘是晶圆表征，晶圆接受测试（WAT）和连续晶圆测试的理想工具。 该技术也推动了当今半导体行业中多种领先技术的发展。

ERS electronic的超低噪声卡盘系统通过采用三轴连接，将漏电降至2.5fA / V，ERS超低噪声卡盘兼容与Keithley, Keysight, National Instruments等，用于晶圆级表征的高端仪器兼容。

该超低噪声技术符合上述仪器的需求； 当然我们也可根据要求提供开尔文三轴连接和超低噪声电缆套件的标准插头。

除了提供具备高性能的产品，我们还提供现场技术支持、校准和改进的服务，以确保在最短的时间内使整个测试装备的电气效果达到最佳。