产品描述

超低噪声温度卡盘系统可以保护卡盘免受电噪声的影响,并降低卡盘漏电。具备超低电噪声卡盘是晶圆表征,晶圆受力测试(WAT)和连续晶圆测试的理性工具。 该技术也推动了当今半导体行业中多种领先技术的发展。

ERS electronic的超低噪声卡盘系统通过采用三轴连接,将漏电降至2.5fA / V。 用于晶圆级别的芯片特殊化的Keithley, Keysight, National Instruments的高端仪器与ERS超低噪声卡盘兼容。

该超低噪声技术符合上述仪器的需求; 当然我们也可根据要求提供开尔文三轴连接和超低噪声电缆套件的标准插头。

除了产品的高性能外,我们还提供现场技术支持、审核和改进的服务,以确保在最短的时间内使整个测试装备的电气达到最佳。

产品种类

低噪声

同轴连接

25°C时电气绝缘: > 2,5 TOhm

实验室级别低噪声

三轴连接
25°C时漏电 < 50 fA/V
200°C时漏电 < 200 fA/V
25°C噪声 < 50 fA

超低噪声

三轴连接
25°C时漏电 < 2,5 fA/V
200°C时漏电 < 10 fA/V
25°C噪声 < 5 fA

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