产品描述
ERS electronic最新推出的PRIME隶属于AirCool®高低温度卡盘系列，是与在晶圆探针台产业有着极高辨识度的MPI Corporation公司共同开发的产品。
PRIME主要特点:
- 业界最短的温度转换时长
- 超低电噪音
- 快速的周转时间
- PRIME隔热技术PTS
- 在无冷却机的情况下，温度可低至-10℃
- 表面模块化设计具有高度的灵活性
作为ERS electronic第四代高低温度卡盘，PRIME的测试温度最低可至-60℃，最高可以达到300℃。无需冷却机的辅助，卡盘可以满足低至-10℃的低温测试需要。如需要更低的温度，仅需要一个小型的冷却机（其体积是从前的1/3）就可以达到-40℃。
内部集成的PTS，相较于其他系列卡盘，它的温度转换时长大幅缩短了2/3。
适用于300mm（12寸）和200mm（8寸）晶圆。
AirCool® PRIME荣获Electronics Industry Award
技术参数
Available upper temperature limits
+150°C up to +300°C
Available lower temperature limits
+35, +20, 0, -20, - 40, - 55, - 65 °C
Coolant
Air (user supplied)
Chuck Temperature Display Resolution
0.01°C
Smallest Temperature Selection Step
0.1°C
Temperature accuracy
±0.08 °C
Max. voltage between chuck top and GND
500 V DC (high voltage option up to 10 kV available)
Surface flatness and base parallelism
-65 °C up to +300 °C < ±10µm (tighter range on request)
Temperature uniformity
-65 °C to +200 °C < ±0.5 °C
> 200 °C < ±0.5 %
> 200 °C < ±0.5 %
Electrical Isolation STD
> 5 T Ohm at +25 °C
Temperature sensor
Pt100 1/3DIN, 4-line wired
Chuck surface plating
Nickel (gold or non-conductive available)
Interfaces
RS232C, Ethernet, others on request
Control method
Low noise DC/PID with Temperature Dynamic Control TDC
Heating rates for 300 mm system
-65°C to +25°C: 10 min
0 °C to +25°C: 4 min
+25 °C to +150 °C: 10 min
+25 °C to +200 °C: 15 min
+25 °C to +300 °C: 25 min
0 °C to +25°C: 4 min
+25 °C to +150 °C: 10 min
+25 °C to +200 °C: 15 min
+25 °C to +300 °C: 25 min
Cooling Rates for 300 mm system
+150 °C to +25 °C: 20 min
+200 °C to +25 °C: 25 min
+300 °C to +25 °C: 30 min
+25 °C to 0 °C: 10 min
+25 °C to -65 °C: 40 min
+200 °C to +25 °C: 25 min
+300 °C to +25 °C: 30 min
+25 °C to 0 °C: 10 min
+25 °C to -65 °C: 40 min
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