AirCool® PRIME

温度测试领域的最新技术创新

  • 业界最短的温度转换时长
  • 超低电噪音
  • 快速的周转时间
  • PRIME隔热技术PTS
  • 在无冷却机的情况下,温度可低至-10℃
  • 表面模块化设计具有高度的灵活性
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产品描述

ERS electronic最新推出的PRIME隶属于AirCool®高低温度卡盘系列,是与在晶圆探针台产业有着极高辨识度的MPI Corporation公司共同开发的产品。

PRIME主要特点:

  • 业界最短的温度转换时长
  • 超低电噪音
  • 快速的周转时间
  • PRIME隔热技术PTS
  • 在无冷却机的情况下,温度可低至-10℃
  • 表面模块化设计具有高度的灵活性

作为ERS electronic第四代高低温度卡盘,PRIME的测试温度最低可至-60℃,最高可以达到300℃。无需冷却机的辅助,卡盘可以满足低至-10℃的低温测试需要。如需要更低的温度,仅需要一个小型的冷却机(其体积是从前的1/3)就可以达到-40℃。

内部集成的PTS,相较于其他系列卡盘,它的温度转换时长大幅缩短了2/3。

适用于300mm(12寸)和200mm(8寸)晶圆。

AirCool® PRIME荣获Electronics Industry Award

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技术参数

Available upper temperature limits
+150°C up to +300°C
Available lower temperature limits
+35, +20, 0, -20, - 40, - 55, - 65 °C
Coolant
Air (user supplied)
Chuck Temperature Display Resolution
0.01°C
Smallest Temperature Selection Step
0.1°C
Temperature accuracy
±0.08 °C
Max. voltage between chuck top and GND
500 V DC (high voltage option up to 10 kV available)
Surface flatness and base parallelism
-65 °C up to +300 °C < ±10µm (tighter range on request)
Temperature uniformity
-65 °C to +200 °C < ±0.5 °C
> 200 °C < ±0.5 %
Electrical Isolation STD
> 5 T Ohm at +25 °C
Temperature sensor
Pt100 1/3DIN, 4-line wired
Chuck surface plating
Nickel (gold or non-conductive available)
Interfaces
RS232C, Ethernet, others on request
Control method
Low noise DC/PID with Temperature Dynamic Control TDC
Heating rates for 300 mm system
-65°C to +25°C:  10 min
0 °C to +25°C:  4 min
+25 °C to +150 °C: 10 min
+25 °C to +200 °C:  15 min
+25 °C to +300 °C:  25 min
Cooling Rates for 300 mm system
+150 °C to +25 °C: 20 min
+200 °C to +25 °C: 25 min
+300 °C to +25 °C: 30 min
+25 °C to 0 °C: 10 min
+25 °C to -65 °C: 40 min

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