产品描述

高电压/电流市场是目前半导体应用中增长最快的领域之一。在电动化和可再生能源发展的推动下,新一代电力电子器件也同时在推动MOSFET和IGBT的发展,这也带动了碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)等其它新基质的日益普及。

为了适应高电压应用的发展,ERS推出高电压/电流卡盘系列来满足客户的需要。可供选择的卡盘从简单的1.5千伏同轴连接到10千伏同轴连接,甚至3千伏三轴连接,且最大电流可达600安培,同时可以满足从-65°C 到 +300°C不等的测试温度需求。结合在高电压测试和超低噪声晶圆针测方面积累了超过15年的经验,该卡盘可以保证在高达一万伏的高压下超低漏电、避免击穿。

除了上述参数,ERS electronic独特的探针台载物台定制化服务,让处理薄晶圆、Taiko晶圆等特殊形态的晶圆变成可能。客户不仅可以根据自己的需要选择卡盘的类型,还可以选择“仅更换卡盘顶盘”的服务,以应对测试需求不断升级的半导体市场。

此外,我们还可按照您的需要,为您量身定制真空卡盘。联系我们以获得现场技术支持,来实现对您现有系统的升级。

产品种类

ers chuck icon small

同轴连接

电压最大可至10千伏
在3千伏电压时漏电低至1,2 nA

ers chuck icon small

三轴连接

电压最大可至3千伏
在3千伏电压时漏电低至50 pA

ers chuck icon small

超低噪音

电压最大可至3千伏
在3千伏电压时漏电低至5 pA

如有特殊需要,请点击这里 contact us.