Wave3000 

ERS Wave3000 内搭载的是高分辨率的光学扫描仪，在多点上捕捉晶圆的表面数据，使其能够生成精确的晶圆轮廓三维图。随后，系统配套的先进软件算法对收集到的数据进行分析，以准确计算出晶圆的翘曲轮廓，其中包括曲率或晶圆形态的变化。

Wave3000的与众不同之处在于其交互式的晶圆三维视图，它可以让用户更好地理解翘曲曲线。三维视图可以旋转和放大，允许用户从任何角度查看翘曲曲线，评估其对晶圆性能的影响。此外，Wave3000的软件可以生成报告和图表，帮助用户解释测量结果并做出明智的决定。

Wave3000用户友好的交互页面让操作更加便捷，并且可以快速、有效地进行设置和执行测量。该工具的无接触操作也减少了污染或损坏晶圆的风险，确保了测量结果的准确、安全和可靠。