产品描述
ERS 全自动 Luminex 机器 :LUM300A1 和 LUM300A2 为半导体解键合领域的创新和效率设定了新标准。这两款机器拥有最先进的功能,旨在满足大批量生产的严格要求,同时确保卓越的性能和可靠性。
凭借强大的处理能力,这些设备可以轻松地处理薄至100 微米的晶圆,并在整个解键合过程中保证晶圆的完整性和精确性。通过SECS-II/GEM 的通信方式,这些设备可无缝集成到生产线中,并可升级到 GEM300,以增强自动化和控制能力。这确保了与现代半导体制造标准的兼容性,并促进了高效的数据交换和过程监控。
用户友好的交互式界面简化了操作,使用户能够有效地管理和监控解键合过程。该系统具有量产能力,每小时可处理多达 50 张晶圆,极大地提高了生产率和运行效率,是量产中不可或缺的设备。
得益于 ERS 的光子解键合技术,这些自动设备可与多种键合材料兼容。这种适应性满足了外包半导体组装和测试(OSAT)设备中的多种要求,确保机器在不影响性能或质量的情况下满足不同的生产需求。
技术参数
输入
关键元件 (LUM300A1 and LUM300A2)
RF ID Reader (Option)
LUM300A2: 45** Wafers per Hour
解键合模块 (LUM300A1 and LUM300A2)
Active Cooling on Chuck
晶圆清洗模块 (only LUM300A2)
机器尺寸
LUM300A2: 3200 x 1800 x 2200 mm
Lamp control unit: 1200 x 900 x 1800 mm
LUM300A2: 1500 kg
700 kg (Lamp control unit)
厂务要求
* Thickness not included in the range needs further evaluation
** Depending on cleaning recipe
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