ERS チャックシステムが選ばれる理由
品質およびテクノロジー市場のリーダーとして、ERS
は製品の特徴を明確に打ち出しています。
それは、すべての分野で妥協のない優れた製品の提供です。
当社のチャックシステムが半導体業界にもたらすメリットは、開発、製造のすべての
ステージにおいてこのことを心掛けていることによるものです。
７つの理由
優れたチャックの平坦度
比類なき平坦度を追求していくことで、ウェハの理想的な接触領域を確保します。剛性の高い ERS
チャックは、多ピンのプローブカードを使用する際に発生する熱応力や力応力に簡単に耐えることができます。
幅広い適応温度範囲
ERS チャックシステムは、極めて高い温度と極めて低い温度の両方に対応しています。分析用プローブのアプリケーションのために、-65 °Cから+400 °Cまでの幅広い温度範囲に適応しています。
急速な温度の上昇・下降
すみやかな温度変化を必要とする分析や製造テストアプリケーションでは、冷却と加熱時間がウェハテストのスループットにとって特に重要になります。 ERSの熱交換器技術と気流管理のノウハウが、急速な温度の上昇・下降を可能にしています。
高温領域での優れた温度精度
ERSチャックの面内の温度分布を一定にすることで、テスト中のウェハ上のすべてのチップに同じ基本条件を適用することができます。
ERS システムは通常、 300 mm チャックで ± 0.5 ° C 以内の温度均一性を提供します。
低電気ノイズ、短時間セトリング
テスト測定技術の経験により、 ERS システムはチャックで最高の電気性能を発揮します。
さらに、低ノイズ DC 温度制御と電気による静かな空気冷却を使用することで、システムはフェムトアンペア範囲でのテストに適しています。
信頼性と非常に長い耐用年数
ERS の空冷システムのMTBFは50,000 時間以上です。これは、約 6 年間の連続稼働時間に相当します。
領域の最小必要条件
ACP の効率的な熱交換技術により、 ERS チラーは、驚くほど小さい設置面積で、 -65 ° C までのチャック温度を実現します。
特許取得済みの ACP
技術により、業界標準のウェハ・プローバーへの組み込みが可能になり、クリーンルームの設置面積をさらに縮小することができます。
