ERS
Nachhaltigkeit
Nachhaltigkeit durch bahnbrechende Technologien
Ein Teil der Halbleiterindustrie zu sein bedeutet, Teil einer der innovativsten Branchen der Welt zu sein. Als Hersteller von Equipment sehen wir es als unsere Aufgabe an, nicht nur unsere THG-Emissionen zu reduzieren, sondern auch unsere Stakeholder zu befähigen und zu ermutigen, dasselbe zu tun. Wir sind Mitglied der gemeinnützigen Organisation Leaders for Climate Action (LFCA), die uns dabei hilft, unsere jährlichen Emissionen zu messen und Maßnahmen zu ergreifen, um sie zu reduzieren, und die Transparenz auf unserem Weg zur Klimaneutralität zu verbessern. Wir sind fest entschlossen, unsere Geschichte der nachhaltigen Innovation fortzusetzen und die Auswirkungen auf die Umwelt in jedem Teil unseres Produktentwicklungsplans zu berücksichtigen.
Unsere Maßnahmen im Unternehmen
100% erneuerbar
Unser Hauptsitz in Deutschland wird mit 100 % erneuerbarer Energie versorgt
Messung des gesamten Fußabdrucks
Wir verpflichten uns, den gesamten Umfang unserer Emissionen jährlich zu messen, um Bereiche zu ermitteln, in denen wir uns verbessern müssen.
Kompensation von CO2-Emissionen
Auf der Grundlage unserer jährlichen Berechnungen kompensieren wir unsere Emissionen durch den Kauf von Kompensationen von zertifizierten Anbietern.
In den frühen 90er Jahren führte ERS AirCool® ein, den ersten thermischen Wafer Chuck, der Clean Dry Air (CDA) als einziges Kühlmittel verwendet. In den 80er Jahren, zu Beginn der Temperaturprüfung bei der Wafer-Probing, verwendete die Industrie Flüssigkeits- oder Peltier-Elemente zur Kühlung. Diese Kühlmethoden waren jedoch häufig mit hohen Betriebskosten und gefährlichen Umweltauswirkungen verbunden. ERS war überzeugt, dass Flüssigkühlmittel durch etwas Saubereres und Zuverlässigeres ersetzt werden mussten. Schließlich wurde ein Konzept entwickelt, das das Herzstück des ERS AirCool®-Systems werden sollte – das zuverlässigste Hot/Cool-Chuck, das je gebaut wurde.
Die Reaktion der Kunden auf das AirCool®-System hat ERS davon überzeugt, dass – wo immer möglich – auf Flüssigkeiten und Peltier-Elemente verzichtet und ausschließlich Luft zur Kühlung der Thermal Chucks verwendet werden sollte. Im Jahr 2005 wurde daher das AC3-System auf den Markt gebracht. Der Name leitet sich von seiner patentierten Technologie ab, die es ermöglicht, die Luft dreimal zu recyceln: zur Vorkühlung, zur Kühlung und zur Trocknung des Proberinnenraums. Seitdem hat sich AC3 zum Flaggschiffprodukt von ERS entwickelt und den Ruf erworben, eines der kosteneffizientesten und ressourcenschonendsten Thermal-Chuck-Systeme der Branche zu sein. Heute ist ERS einer der führenden Anbieter von Thermal-Chuck-Systemen, und die Luftkühlungstechnologie ist ein Industriestandard.
Wir sind stolz darauf, ein neues Kapitel in unserer AirCool®-Nachhaltigkeitsgeschichte zu präsentieren: AC3 Fusion – unser vielseitigstes und nachhaltigstes System für “Tri-Temp” Wafertests.
Weitere Informationen darüber, wie wir unsere Emissionen reduzieren, finden Sie auf unserer LFCA-Seite
