产品描述
ERS WAT是一款适用于200mm （WAT200）或300/330mm（WAT300/330）的晶圆级全自动翘曲矫正机器。由于采用了ERS三温滑动技术TriTemp Slide，使得在工艺流程的每个阶段都可以对翘曲进行修正，确保产出的晶圆形状可以与下游工具的操作规格相匹配。
ERS WAT在全自动操作过程中可处理多达4个FOUP。它配备的晶圆ID读取器和自动翘曲检测站，以及3种独立的操作模式，实现了操作上高度的灵活性。
全新升级的WAT330配备了HEPA过滤系统，洁净室等级100。同时，该机器也符合SEMI GEM300标准，并配有全自动产品装卸。另一个值得注意的升级是机器的氮气环境，含氧量低至0.5%，以避免铜的氧化。全新的WAT330还搭载了强真空温度卡盘，以实现零故障处理晶圆
WAT
技术参数
Wafer Size
200 mm or 300/330 mm
Handling System
One 4-Axis Robot; special endeffector
Maximum Input Warpage
+/- 7mm
Warpage Adjust Method
ERS TriTemp Slide
Typical Output warpage
< 500µm
Temperature Control
DC PID and ERS AirCool® components
Temperature Range
-10°C up to +260°C (depending on station)
Oxygen Free Environment
Optional
Dimensions
W x D x H
2273 x 1134 x 1741 mm
Weight
1800kg
Facility Supply
Voltage
400 VAC 3-phase 32A
Frequency
50 / 60 Hz
Power
18 kW
CDA Pressure
6 bar at 0 °C dew point
CDA Flow Rate
1000 l/min peak
Vacuum Pressure
100 mbar
Vacuum Flow Rate
100 l/min
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