翘曲矫正

全自动翘曲矫正机

WAT是一款采用了ERS三温滑动专利技术TriTemp® Slide的全自动翘曲矫正机

产品描述

ERS WAT 330是一款适用于300/330mmFOWLP晶圆的全自动翘曲矫正工具。由于采用了ERS三温滑动专利技术TriTemp® Slide,使得在工艺流程的每个阶段都可以对翘曲进行修正,确保产出的晶圆形状可以与下游工具的处理规格相匹配。

ERS WAT 300在全自动操作过程中可处理多达4个FOUP。它配备的晶圆ID读取器和自动翘曲检测站,可以通过3种独立的操作模式实现高度的灵活性。该机器还可以独立用作翘曲测量站、翘曲调整站,或是翘曲测量/调整/监控站。该系统设计拥有一个特殊的环境室,用于对晶圆进行氮气包膜保护。

WAT

技术参数

Wafer Size
200 mm or 300/330 mm
Handling System
One 4-Axis Robot; special endeffector
Maximum Input Warpage
+/- 7mm
Warpage Adjust Method
ERS TriTemp Slide
Typical Output warpage
< 500µm
Temperature Control
DC PID and ERS AirCool® components
Temperature Range
-10°C up to +260°C (depending on station)
Oxygen Free Environment
Optional

Dimensions

W x D x H
2273 x 1134 x 1741 mm
Weight
1800kg

Facility Supply

Voltage
400 VAC 3-phase 32A
Frequency
50 / 60 Hz
Power
18 kW
CDA Pressure
6 bar at 0 °C dew point
CDA Flow Rate
1000 l/min peak
Vacuum Pressure
100 mbar
Vacuum Flow Rate
100 l/min

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